The 36th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (IEEE MEMS 2023) はIEEE主催のMEMS技術に関する年次国際会議で、第36回となる今回は2023年1月15日から19日の5日間にわたり、ドイツ、ミュンヘンのScience Congress Center Munichで開催されました。
本会議は新規性を重視するMEMS技術分野における最も権威のある国際学会のひとつであり、投稿された636件の論文のうち約49%の314件の論文が採択され、内訳は口頭発表が70件、ポスター発表が244件でした。
マイクロ吸盤を作るファブリケーションについてや、サブミリメートルの空間分解能を持つ冷温感検出機能を搭載した触覚センサなど、独創性の高い優れた研究発表が行われました。
次回のIEEE MEMS（2024年1月21日～25日）の開催地はアメリカのオースティンで開催されます。
本会議では、「Unique dispersion relation for plasmonic photodetectors with submicron grating」というタイトルで発表しました。
狭い設置面積に分光分析機能を組み込めるので、小型分光器は世界的に盛んに研究されています。その中でも金回折格子型のSPR式光検出器による近赤外分光は有望です。この光検出器は入射角に対応して検出波長が変化するので、角度ごとの光応答を測定することで、そのデータから逆計算を行うことで入射スペクトルを計算できます。しかし、入射スペクトルを得るには角度と波長が一対一に対応することが望ましいですが、従来用いられてきたシングルミクロンピッチの格子では、特定の近赤外波長範囲で一つの測定角度に対し、複数の波長が対応することから、逆計算の結果が一意に定まらず、分光精度が落ちていました。本論文では、シリコン微細加工を用いて、格子幅をサブミクロンサイズに縮小した金回折格子型の光検出器を開発することで、共鳴条件のスパース化をはかり、近赤外領域において角度と波長の対応が一対一になる条件を実現しました。分光計測を実施し、従来構造による計測結果と比較して、複数のピークを持つ単色光、および、微弱な連続光を対象に分光が実現できることを確認しました。市販分光器との比較検証により、提案するSPR式光検出器で市販分光器レベルのスペクトル測定能力を持つことを実証できました。
はじめて国際学会に参加し、多くの研究者と議論することができました。ポスター発表では、自分の研究についてどのようなことに注目されているのかということがわかり、また、研究の進め方についてサジェスチョンをいただけ、とても有意義に過ごせました。
オーラル発表に積極的に参加することで自分の知識を深められ、より研究を進めていこうと思いました。
さらに、会場に隣接するミュンヘン工科大学の見学する機会をいただき、実験室だけでなくオフィスや食堂など、日本の大学と海外の大学違いについて知ることができ、留学への興味が一段と増しました。
最後に、今回の国際学会の参加にあたり、ご支援をいただきました一般財団法人丸文財団様に心より感謝申し上げます。
